Использование пленочной технологии для построения мощных СВЧ нагрузок и аттенюаторов

Микрополосковая пленочная технология является наиболее перспективной для построения широкополосных и сверхширокополосных СВЧ аттенюаторов высокого уровня мощности, по сравнению с коаксиальной и волноводной технологией. Она обеспечивает возможность работы с более высоким уровнем входной СВЧ мощности, не имеет ограничений по частотному диапазону в области нижних частот и применима в диапазоне ВЧ вплоть до 30 ГГц и выше, отличается хорошими конструктивными и массогабаритными параметрами.

Пленочные резисторы получают напылением на диэлектрические основания (подложки) узких резистивных пленочных полосок 1 (рисунок. 1.5) различной конфигурации и контактных площадок 2, имеющих с ними некоторую зону перекрытия 3. Конструкции пленочных резисторов должны учитывать особенности топологической структуры пленочного функционального узла (размеры подложки, количество и расположение выводов и т. д.), величину номинала, характеристики используемых материалов, технологию производства, требуемую точность воспроизведения.

Самой распространенной является полосковая прямоугольная форма (рисунок 1.5, а), как наиболее простая по технологическому исполнению, но совершенная с точки зрения ее повторяемости. Высокоомные резисторы, имеющие значительную длину, в целях рационального использования площади подложки, выполняются в форме змейки (рисунок 1.5, д), меандра (рисунок 1.5, б) или составляются из последовательно соединенных полосок, повторяющих форму меандра (рисунок 1.5, г). Резисторы, выполненные из составных полосок, отличаются большей точностью воспроизведения, лучшей стабильностью характеристик и надежностью. Однако они занимают несколько большую площадь, чем меандр. Меандр уступает в отношении стабильности и надежности конфигурации типа «змейка» из-за перегрева на внутренних участках изгибов, но он предпочтительней с точки зрения проектирования и изготовления масок и фотошаблонов.

Рассмотрим подробнее конструкцию планарного пленочного резистора прямоугольной формы, которая показана на рисунке 1.6.